氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉積爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備,設(shè)計思路新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,一臺設(shè)備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝,那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!
氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護(hù)的情況下,利用中頻感應(yīng)加熱原理,使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達(dá)到高溫,通過熱輻射傳導(dǎo)到工作中,適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結(jié)。安裝爐子的場地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求,周圍空氣清潔干燥,通風(fēng)條件好,工作場所不易揚(yáng)起灰塵等。它的日常使用方法:
1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好。
2、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上。
3、查看接線圖,參考電路圖,連接外接主回路和控制回路,可靠接地,保證接線無誤。
4、檢查電器活動部位活動自如,無卡死現(xiàn)象。
5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬億歐姆。
6、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置。
7、控制電源開關(guān)置于斷開位置。
8、手動調(diào)壓旋鈕逆時針轉(zhuǎn)動頭。
9、將報警按鈕置于打開位置。
10、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時,建議用戶在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來水),防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。
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