真空燒結(jié)爐冷卻水異常怎么辦
真空燒結(jié)爐是可進(jìn)行真空燒結(jié)的的工藝,是半導(dǎo)體專用設(shè)備中一種新穎的工藝裝備,可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理工藝。當(dāng)燒結(jié)爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦?
發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時(shí),要先確認(rèn)加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結(jié)爐爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應(yīng)立即采取一些應(yīng)急措施。如能保證水量,繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。
如果冷卻水出現(xiàn)異常時(shí),真空燒結(jié)爐處于停止?fàn)顟B(tài),則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時(shí),冷卻水就會(huì)停止,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會(huì)被損壞。
因此,在使用高溫?zé)崽幚頎t、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時(shí),一定要注意冷卻水是否異常,要時(shí)常檢查設(shè)備,做好平日的維護(hù),才能延長(zhǎng)設(shè)備使用年限。
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