真空甩帶爐的抽真空是怎么樣的
真空甩帶爐的抽真空是怎么樣的?下面,八佳電氣科技的小編和大家說下相關的步驟。
一、抽低真空
1.將真空甩帶爐機械泵拉桿逆時針旋轉一下輕輕外拉至不能拉動再順時針旋轉一下鎖定;
2.等待真空表指針為“-0.1”后按下復合真空計左表頭的紅色按鈕,等待將腔內(nèi)真空抽至低于中間檔3Pa,同時繼續(xù)緊固腔門上的螺絲(若超過5分鐘未能將真空抽至低于3Pa,請將拉桿按a)步驟所示手法推進2分鐘后再拉出)。
二、抽高真空
1.當真空甩帶爐的腔內(nèi)真空低于3Pa后,將機械泵拉桿推進并順時針旋轉鎖定;
2.將擴散泵閥門開關手柄逆時針旋轉180°至“開”;
3.當左表頭指針低于0.2Pa后,按下右表頭上的綠色按鈕,并按復位按鈕一次運行高真空表;
4.根據(jù)情況依次更換量程,查看真空甩帶爐腔內(nèi)真空度(在當前量程內(nèi),若指針高于“1”嚴禁更換到更小量程查看真空度)。
真空甩帶爐的清理內(nèi)腔工作:
1.順時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為5m/s;
2.用沾有丙酮的紙巾擦拭真空甩帶爐的銅輥外徑表面;
3.用金相砂紙輕輕擦拭外沿;
4.重復第2步;
5.逆時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為“0”;
6.用沾有丙酮的紙巾擦拭真空甩帶爐腔體其他地方。
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