真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)上要滿足哪些要求呢 　　真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行精確的控制。 　　因此，真空燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求： 　　(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。 　　(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護氣氛暢通。 　　(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。 　　(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。 　　真空燒結(jié)爐使用的注意事項 　　(1)當使用氫氣或分解氨時，要先通入氮氣，在確保爐中的空氣完全被排出時，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。 　　(2)對鉬絲作加熱元件的燒結(jié)爐，在通電前爐體中應(yīng)通入保護氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。 　　(3)真空燒結(jié)爐爐門及氣體排出口應(yīng)點明火燒除，以防止氧氣進入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。 　　(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時應(yīng)停留一段時間(30min左右)再升溫，以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。 　　(5)在升溫前和操作中應(yīng)不時檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設(shè)備、電和爐溫的控制儀表是否正常。 　　(6)停爐前應(yīng)先斷電，在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。 　　(7)除了因維修要停真空燒結(jié)爐爐外，要避免頻繁停爐。燒結(jié)爐的頻繁開停，會造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內(nèi)氣氛不純，爐溫容易波動等弊端。

　　真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)特點是什么 　　真空燒結(jié)爐爐體為立式爐殼，其內(nèi)層為不銹鋼制成的圓筒，外層為碳鋼。爐體分為兩部分，其中三分之一為爐蓋可手動完全側(cè)開門，三分之二部分為固定爐體，設(shè)計獨特，便于操作。兩層之間形成夾套可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走，使爐壁溫度不超過60℃，其上下法蘭焊接為一個整體。中間開有紅外測溫孔（有保護氣氛通氣口），熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀察孔，鉑銠熱電偶有到溫自動退出裝置，紅外測溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置，操作人員使用的觀察孔設(shè)有擋板。 　　真空系統(tǒng)：由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥（防止因突然停電、機械泵油倒灌）充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表（±Pa）波紋管、真空管路和支架等組成。 　　液壓系統(tǒng)：真空燒結(jié)爐采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺（測距精度0.02mm）、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動調(diào)節(jié)壓力，并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。 　　水冷系統(tǒng)：由各種閥管道相關(guān)裝置組成且設(shè)有斷水聲光報警自動切斷加熱源或功能。 　　溫控系統(tǒng)：采用可控硅控溫，配置有PID功能儀表，數(shù)顯表，具有超溫聲光報警功能，也可選用PLC觸摸屏自動控制，并保留歷史數(shù)據(jù)，便于分析燒結(jié)過程。 　　充氣系統(tǒng)：由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當真空燒結(jié)爐爐內(nèi)壓力高于安全值時會自動放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量。