真空燒結(jié)爐其加熱的方式比較多，如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等安裝電爐的場所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場地不易揚起灰塵等。具體安裝步驟如下。 　　1.檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。 　　2.控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。 　　3.安照真空燒結(jié)爐接線圖接線，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。4.檢查電器可動部分應(yīng)活動自如，無卡死現(xiàn)象。 　　5.絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。 　　6.真空燒結(jié)爐各閥門必須在關(guān)閉位置。 　　7.控制電源開關(guān)放在關(guān)位。 　　8.手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。 　　9.報警鈕放在開位。 　　10.按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在真空燒結(jié)爐設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。

　　氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時抽真空，并設(shè)置手動及自動壓差閥?？紤]真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。