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真空甩帶爐的結(jié)構(gòu)特點
發(fā)布時間:2023-08-15   瀏覽:1631次

  真空甩帶爐的結(jié)構(gòu)特點

  真空甩帶爐是一種常用于半導(dǎo)體、光電子、新材料等領(lǐng)域的熱處理設(shè)備,具有以下結(jié)構(gòu)特點:

  1.爐體結(jié)構(gòu):真空甩帶爐的爐體結(jié)構(gòu)通常采用立式設(shè)計,由爐膛、耐熱隔熱層和外殼組成。爐膛內(nèi)部通常采用高溫合金材料或陶瓷材料制成,能夠承受高溫和真空環(huán)境。

  2.甩帶機構(gòu):真空甩帶爐中的主要部件是甩帶機構(gòu)。甩帶機構(gòu)由驅(qū)動裝置、輸送帶和張緊裝置組成。輸送帶采用耐高溫的合金材料制成,并通過驅(qū)動裝置帶動輸送帶進行循環(huán)運動,以實現(xiàn)物料的連續(xù)輸送和熱處理。

  3.加熱系統(tǒng):真空甩帶爐的加熱系統(tǒng)通常采用電阻加熱器、感應(yīng)加熱器或輻射加熱器等方式。根據(jù)熱處理要求,加熱系統(tǒng)可提供各種加熱方式和分區(qū)控制,以實現(xiàn)對物料的精確控溫。

  4.真空系統(tǒng):真空甩帶爐的真空系統(tǒng)用于提供所需的真空環(huán)境。真空系統(tǒng)包括真空泵、真空計、氣體冷凝器等設(shè)備,能夠?qū)崿F(xiàn)高真空或中真空處理。

  5.控制系統(tǒng):真空甩帶爐配備先進的控制系統(tǒng),可對溫度、氣氛、輸送速度、真空度等參數(shù)進行實時監(jiān)控和調(diào)節(jié)。控制系統(tǒng)通常采用PLC、觸摸屏等自動化設(shè)備,實現(xiàn)精確的熱處理過程控制和數(shù)據(jù)記錄。

  總體而言,真空甩帶爐具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、加熱均勻、真空度高等特點。它可以實現(xiàn)對物料的連續(xù)處理和精確控溫,廣泛應(yīng)用于高溫?zé)崽幚?、石墨化、脫氣、退火等工藝過程。但是,具體結(jié)構(gòu)特點還會受到不同制造商的設(shè)計和技術(shù)水平的影響,因此在選擇和使用真空甩帶爐時,還應(yīng)考慮到實際需求和設(shè)備的性能指標(biāo)。


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  真空甩帶爐各組成裝置的性能介紹   雖然,真空甩帶爐看起來并不大,但其結(jié)構(gòu)也是相對復(fù)雜的,主要有真空腔體、熔煉裝置、噴鑄裝置、甩帶裝置、壓鑄裝置、模具預(yù)熱系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、爐體支架、電氣控制系統(tǒng)及水冷卻系統(tǒng)組成。   1、真空腔體:由爐體、爐蓋和爐底組成;爐體由不銹鋼法蘭和內(nèi)外筒體組焊而成,內(nèi)壁鏡面拋光,爐體上開設(shè)有壓鑄接口、噴鑄接口、旋轉(zhuǎn)電極接口、甩帶收集管、紅外測溫接口、模具預(yù)熱電源電極引入接口;真空甩帶爐的爐蓋由整體實心加工而成,上面開設(shè)有大直徑觀察窗,可直觀的觀測到爐內(nèi)的各種實驗情況;爐底也是由整體實心加工而成,固定有甩帶裝置。整體外觀啞光處理,整潔大方。   2、熔煉裝置:由 超音頻電源、水冷電纜、旋轉(zhuǎn)電極、線圈、保溫套和坩堝組成,通過更換線圈、保溫套和坩堝實現(xiàn)不同容量。真空甩帶爐的高溫溫度可加熱至1700℃。(容量按照50g,200g,500g,1000g來配),熔煉完成后可通過手動傾倒到模具內(nèi)。   3、噴鑄裝置:由氣缸、石英管、時間繼電器、氣源恒定裝置等組成,可實現(xiàn)小容量溶液的噴帶和噴鑄。(噴鑄配石英管,容量50g)   4、甩帶裝置:真空甩帶爐的甩帶裝置由噴鑄裝置、高速調(diào)速電機、磁流體密封裝置和銅棍等組成,可通過調(diào)節(jié)電機速度,實現(xiàn)不同銅棍線速度。   5、壓鑄裝置:由特殊加壓裝置、壓架、底座、壓頭和母模等組成,當(dāng)溶液澆鑄或者噴鑄到母模內(nèi),啟動加壓裝置對工件加壓,提高其致密性。壓鑄底部壓頭有定位槽,保證上下壓頭同心度;底部壓頭可調(diào)節(jié)高度;整套壓力架支撐在地上。相對人性化的設(shè)計是在爐體底部有防漏盤,防止熔液損壞真空腔體。   6、模具預(yù)熱系統(tǒng):為防止?jié)茶T到母模內(nèi)的溶液冷卻過快,特在母模外部加裝感應(yīng)線圈預(yù)熱,由一臺7.5Kw IGBT超音頻電源、水冷銅接頭和線圈等組成,如果不用預(yù)熱,也可取下感應(yīng)線圈,用悶頭密封。預(yù)留有兩路進出水,水流量可通過流量計來控制(專門用于水冷銅模)。   7、抽真空系統(tǒng):至于抽真空部分是由一臺擴散泵、一臺雙極直聯(lián)泵、三臺氣動擋板閥、真空管路和真空計等組成,冷態(tài)極限真空度優(yōu)于6.67×10E-3Pa。   8、爐體支架:由型材和鋼板拼裝而成,真空甩帶爐門板全部采用數(shù)控加工,尺寸精度高,外表噴塑處理,整體布局合理,顏色搭配美觀。和電控柜采用一體結(jié)構(gòu)。   9、電氣控制系統(tǒng):各種電氣元器件采用國際知名品牌,按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制作而成。面板采用模擬屏,可直觀控制設(shè)備的各部件,并有水欠壓、斷水聲光報警并自動切斷加熱功能。   10、水冷卻系統(tǒng):真空甩帶爐的冷卻系統(tǒng)由水冷機、各種閥門和水管等組成,帶有電接點水壓表,具有超壓、欠壓報警功能。